Magnetschwebepumpe, CXF-200/1401E, Wasserkühlung, an Bord

Kurze Beschreibung:

Das elektromagnetische Lager wird auch „aktive Magnetschwebebären“ genannt, bestehend aus einem Magnetlager, einem Sensor und einer Steuerung. Dieses Design verfügt über eine dynamische Reaktion und rechtzeitige Anpassung, die Hochgeschwindigkeitswelle und einen zuverlässigen Betrieb.


Produktdetail

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Die magnetgelagerten Molekularpumpen sind Pumpen, deren Wellen durch magnetische Kraft unterstützt werden.
Magnetschwebe-Molekularpumpen der Serie sind Vakuumerzeugungsanlagen, die von KYKY entwickelt wurden, um die Anwendungsanforderungen in den Bereichen moderne Halbleiterfertigung, Chipherstellung, industrielle Beschichtung und wissenschaftliche Instrumente zu erfüllen.

Technologien:

  • Steuerungstechnik für Magnetlager: Die angenommene elektromagnetische ist eine 5-Achsen-Magnetschwebebahn. Dieses Design kann ein dynamisches Ansprechen und eine rechtzeitige Anpassung mittels dynamischer aktiver geschlossener magnetischer Aufhängungssteuerungstechnologie basierend auf fortschrittlicher internationaler Steuerungstheorie aufweisen, um so signifikante Vorteile der Hochgeschwindigkeitswelle wie einen stabilen schwebenden und zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten.
  • Motorantriebssteuerungstechnologie: Hocheffizienter Hochgeschwindigkeits-Gleichstrommotor und Servosteuerungssystem werden auf Magnetschwebepumpen in Serie angewendet, um die maximale Energie des Motors zu haben und die Drehzahl der Welle automatisch zu kompensieren, wodurch ein stabiler Start, zuverlässiger Betrieb und automatische Regelung realisiert werden Funktion der dynamischen Energie.
  • Rotortechnologie aus Kohlefaserverbundstoff: Die Turborotoren der seriellen Molekularpumpen mit magnetischer Suspension werden durch das Compoundieren einer hochfesten Aluminiumlegierung und einer leichten Kohlefaser hergestellt. Im Vergleich zu allen Rotoren aus Aluminiumlegierung zeichnen sich die Turbo-Rotoren durch eine große Gewichtsreduzierung und eine große Verbesserung der Festigkeit aus, so dass Ziele von hoher Drehzahl, hoher Leistung und hoher Zuverlässigkeit erreicht werden.
  • Korrosionsbeständige Technologie: Die Oberflächen von Teilen in Kammern von seriellen Magnetschwebemolekularpumpen werden mit speziellen Verfahren behandelt, damit die Oberflächen der Korrosion durch korrosive Gase in Halbleiterfertigungsprozessen lange widerstehen können. Darüber hinaus werden Inertgase wie N2 vollständig in die Wellen der Pumpen eingefüllt, um die Teile mit niedrigem Vakuum in den Pumpen zu schützen, so dass die Funktion des stabilen Absaugens korrosiver Gase über lange Zeiträume realisiert wird.
  • Heiztemperaturregelsystem: Die Magnetschwebe-Molekularpumpen der Baureihe sind mit einer elektrischen Heizung und einem Temperaturregler ausgestattet, so dass Kühlwasser, Luft-Knochen-Heizung, elektrische Heizung und Wärme von Schutzgasen während des Betriebs überwacht und geregelt werden können, die Temperatur in den Pumpen kann auf gehalten werden gewisser Wert auf lange Sicht, einige gasförmige Stoffe werden bei Normaltemperatur nicht in feste Stoffe umgewandelt und in den Pumpen nicht abgeschieden, und die Anforderungen an spezielle Verfahren wie Ätzen können erfüllt werden.

Die Vorteile:

1.Null Reibung während des Betriebs und geringer Stromverbrauch

2.Einfach, wirklich sauberes Hochvakuum und Ultrahochvakuum ohne Schmierung für Pumpen zu erwerben

3.Fähig, korrosive Gase langfristig zu extrahieren

4.Hohe Sicherheit und lange Lebensdauer durch Schutz der Lager mit Präzisionskeramikkugeln

5. Stromerzeugungsfunktion im Falle eines plötzlichen Abschaltens

Spezifikationen:

Modell CXF-200/1401E
Pumpengeschwindigkeit (l/s,Luft) 1400
Kompressionsrate >1×107
Ultimatives Vakuum (Pa) ≤2×10-6
Einlassflansch DN200 ISO F
DN200 ISO CF
Auslassflansch KF 40
Rotationsgeschwindigkeit (U/min) 33000
Hochlaufzeit (min) 6
VIB (mm) <0,05
Vorpumpe (l/s) 15
Montage oder Ausrichtung Irgendein
Kühlungsmethode Wasser
Gewicht (kg) (mit Controller) 51

Anwendungen:

Magnetschwebe-Molekularpumpen der Serie werden hauptsächlich in den Bereichen Halbleiterherstellung, Clipherstellung, industrielle Beschichtung und wissenschaftliche Instrumente eingesetzt, insbesondere zur Absaugung von korrosiven Gasen, die bei Ätzen, CVD, PVD und Ionenimplantation vorhanden sind, und Gasen, die bei Normaltemperatur leicht koagulieren.


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