Magnetschwebepumpe, CXF-320/3001E, Wasserkühlung, ISO-F, an Bord

Kurze Beschreibung:

Das elektromagnetische Lager wird auch „aktive Magnetschwebebären“ genannt, bestehend aus einem Magnetlager, einem Sensor und einer Steuerung. Dieses Design verfügt über eine dynamische Reaktion und rechtzeitige Anpassung, die Hochgeschwindigkeitswelle und einen zuverlässigen Betrieb.


Produktdetail

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Die magnetgelagerten Molekularpumpen sind Pumpen, deren Wellen durch magnetische Kraft unterstützt werden.
Magnetschwebe-Molekularpumpen der Serie sind Vakuumerzeugungsanlagen, die von KYKY entwickelt wurden, um die Anwendungsanforderungen in den Bereichen moderne Halbleiterfertigung, Chipherstellung, industrielle Beschichtung und wissenschaftliche Instrumente zu erfüllen.

Vorteile:

1. Keine Reibung während des Betriebs und geringer Stromverbrauch
2. Einfach, wirklich sauberes Hochvakuum und Ultrahochvakuum ohne Schmierung für Pumpen zu erwerben
3. Kann korrosive Gase langfristig absaugen
4. Hohe Sicherheit und lange Lebensdauer durch Schutz der Lager mit Präzisionskeramikkugeln
5. Stromerzeugungsfunktion bei plötzlichem Abschalten
6. Reibungsfrei
7. Frei von Verschmutzung
8. Wartungsfrei
9. Geringe Vibration
10. in beliebiger Ausrichtung installiert.

Anwendungen:

Magnetschwebe-Molekularpumpen der Serie werden hauptsächlich in den Bereichen Halbleiterherstellung, Clipherstellung, industrielle Beschichtung und wissenschaftliche Instrumente eingesetzt, insbesondere zur Absaugung von korrosiven Gasen, die bei Ätzen, CVD, PVD und Ionenimplantation vorhanden sind, und Gasen, die bei Normaltemperatur leicht koagulieren.

Spezifikationen:

Modell CXF-320/3001E
Pumpengeschwindigkeit (l/s,Luft) 3200
Kompressionsrate >1×108
Ultimatives Vakuum (Pa) 5×10-7
Einlassflansch ISO-F 320
Auslassflansch KF 40
Rotationsgeschwindigkeit (U/min) 24000
Hochlaufzeit (min) 12
VIB (mm) <0,05
Vorpumpe (l/s) 15
Montage oder Ausrichtung Irgendein
Kühlungsmethode Wasser
Gewicht (kg) (mit Controller) 75

Technologien:

  • Steuerungstechnik für Magnetlager: eine 5-Achsen-Magnetschwebebahn, basierend auf fortschrittlicher internationaler Steuerungstheorie, um so bedeutende Vorteile der Hochgeschwindigkeitswelle wie einen stabilen Schwebezustand und einen zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten.
  • Motorantriebssteuerungstechnologie: Hocheffizienter Hochgeschwindigkeits-Gleichstrommotor und Servosteuerungssystem mit maximaler Energie des Motors und zum automatischen Ausgleich der Drehzahl der Welle, wodurch ein stabiler Start, ein zuverlässiger Betrieb und eine automatische Regelfunktion der dynamischen Energie realisiert werden.
  • Rotortechnologie aus Kohlefaserverbundstoff: Hergestellt durch die Verbindung von hochfester Aluminiumlegierung und leichter Kohlefaser. gekennzeichnet durch große Gewichtsreduzierung und starke Festigkeitsverbesserung, so dass Ziele von hoher Drehzahl, hoher Leistung und hoher Zuverlässigkeit erreicht werden.
  • Korrosionsbeständige Technologie: Oberflächen von Teilen in Kammern werden mit speziellen Verfahren behandelt, damit die Oberflächen der Korrosion durch korrosive Gase in Halbleiterfertigungsprozessen lange widerstehen können. Darüber hinaus werden Inertgase wie N2 vollständig in die Wellen der Pumpen eingefüllt, um die Teile mit niedrigem Vakuum in den Pumpen zu schützen, so dass die Funktion des stabilen Absaugens korrosiver Gase über lange Zeiträume realisiert wird.
  • Heiztemperaturregelsystem: Ausgestattet mit Elektroheizung und Temperaturregler können Kühlwasser, Luft-Knochen-Heizung, Elektroheizung und Wärmetransport durch Schutzgase während des Betriebs überwacht und gesteuert werden, Temperatur in den Pumpen kann langfristig auf einem bestimmten Wert gehalten werden, teilweise gasförmig Stoffe werden bei Normaltemperatur nicht in feste Stoffe umgewandelt und in den Pumpen nicht abgeschieden, und Anforderungen an spezielle Verfahren wie das Ätzen können erfüllt werden.

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