Turbomolekularpumpe in Quarzoszillatoren

Der Kristalloszillator wird häufig in Schaltungen verwendet andere Felder. Der normale Betrieb elektronischer Schaltungen hängt vom regelmäßigen, stabilen „Taktsignal“ ab. Unter normalen Betriebsbedingungen kann die absolute Genauigkeit der normalen Quarzfrequenz 50 pro Million erreichen.
图片2图片4
Das Hauptfunktionsmaterial von Quarz ist Kristall, ein sechseckiger konischer Kristall mit einer chemischen Zusammensetzung von Siliziumdioxid (SiO2).
Quarz ist aufgrund seiner piezoelektrischen Wirkung von positiv (mechanische Energie → Elektrizität), invers (elektrisch → mechanische Energie) der Rohstoff für Resonatoren. Wenn entlang der Wellen oder mechanischen Wellen von Quarzwafern Druck ausgeübt wird, um die Wafer zu verformen, erzeugen die beiden Oberflächen senkrecht zu diesen Achsen eine elektrische Ladung, ein Phänomen, das als positiver piezoelektrischer Effekt bekannt ist. Wird an beide Oberflächen eines Quarzkristalls ein elektrisches Feld angelegt, dehnt oder staucht sich der Wafer in Richtung der Welle und der mechanischen Achse, ein Phänomen, das als Gegendruckeffekt bekannt ist. Aufgrund dieser Eigenschaft wird das Kristallvolumen periodisch komprimiert oder gedehnt, wenn der Quarzkristall in ein elektrisches Wechselfeld gebracht wird, wodurch die mechanische Schwingung des Kristalls entsteht. Wenn die Frequenz des Wechselfelds gleich der inhärenten mechanischen Resonanzfrequenz des Wafers ist, ist die mechanische Schwingungsamplitude des Wafers am größten, was zu Resonanz führt.
微信图片_20210601094636图片5
In der Produktion werden die vier Prozesse Versilbern, Tuning, Bonden und Testen im Vakuum wie folgt ergänzt.
Versilberungsmaschine
Bei der Herstellung von Quarzkristallelementen ist eine doppelseitige Versilberung des bereits geschnittenen Substrats erforderlich, um eine doppelseitige Elektrode zu bilden. In den letzten Jahren wurde Hochvakuum durch Silbermaschinen durch Diffusionspumpen erzeugt. Aufgrund von Qualitäts- und Energieeffizienzanforderungen werden Turbomolekularpumpen nach und nach verwendet, um Diffusionspumpen in der Industrie zu ersetzen.
Stimmgerät
Ein Ionenätzverfahren wird verwendet, um die Dicke der Waferoberflächenelektrode einzustellen, so dass die Kristallresonatorfrequenz die Zieloszillationsfrequenz erreicht. Die mit einem Doppelförderschiff ausgestattete Ausrüstung ist für 1280 Quarzschwingungselemente verfügbar, die mit der Echtzeitüberwachung der Quarzschwingungsfrequenz arbeiten und 64 Quarzschwingungselemente gleichzeitig handhaben können. Die Vakuumkammer der Feinabstimmungsmaschine ist in die Präparationskammer und die Feinabstimmungskammer unterteilt. Wenn das Gerät eingeschaltet wird, wird das Vakuum der Vorbereitungskammer von Atmosphärendruck auf Dutzende von Pa reduziert, das Vakuum der Feinabstimmungskammer wird schließlich auf 10-3 bis 10-4 Pa reduziert. Zur Erzeugung des Hochvakuums in der Feinabstimmungskammer werden Molekularpumpen verwendet.
Schweißgerät
Der Schweißprozess besteht darin, die obere Abdeckung mit der Basis zu versiegeln, um sicherzustellen, dass die Alterungsrate des Produkts den Anforderungen entspricht. Wobei passiver Kristall zum Versiegeln direkt mit Stickstoffgas gefüllt werden kann, während aktiver Kristall vor dem Versiegeln Vibrationschip hinzugefügt werden muss. Im Vakuumglühprozessteil der Versiegelungsmaschine wird ein Hochvakuum unter Verwendung einer Molekularpumpe erzeugt.
In den letzten Jahren hat die Kristallindustrie mit der rasanten Entwicklung nachgelagerter Anwendungen wie 5G, Automobilelektronik und mobile Endgeräte neue Möglichkeiten eröffnet. Als Experte für Lösungen für die Vakuumindustrie verfügt KYKY über einen reichen Erfahrungsschatz im Bereich der Quarzoszillatoren und bietet eine vollständige Palette von Vakuumprodukten und kundenspezifischen Lösungen. In Zukunft wird KYKY weiterhin tief in die Industriesegmente vordringen und daran festhalten, den Kunden qualitativ bessere Produkte und Dienstleistungen zu bieten.
图片7图片6


Postzeit: 14. Mai 2021