Es ist die Upgrade-Version von EM8000, mit verbesserter Elektronenstrahlröhrenbeschleunigung, variiertem Vakuummodus, verfügbar, um nichtleitende Proben bei niedriger Spannung ohne Sputtern zu beobachten, einfaches, bequemes und benutzerfreundliches Betriebssystem, mehrere Erweiterungs-Umbaupläne. Es ist auch das erste FEG-REM mit einer Auflösung von 1 nm (30 kV).
Vorteile:
1, Schittky-Elektronenkanone, hohe Helligkeit, gute Monochromatizität, kleiner Strahlfleck, lange Lebensdauer.
2, mit E-Beam-Rohrbeschleunigung, optionale Stufenverzögerung
3, stabiler Strahlstrom, niedrige Energieverteilung
4, nicht leitende Probe beobachten, ohne bei niedriger Spannung zu sputtern
5, einfache, bequeme und freundliche Bedienoberfläche
6, Riesige motorisierte Bühne mit 5 Achsen
Spezifikationen:
Aufbau | |
Auflösung | 1nm@30kV(SE) |
3nm@1Kv(SE) | |
2,5 nm @ 30 kV (BSE) | |
Vergrößerung | 15x-800.000x |
Beschleunigungsspannung | 0-30kV kontinuierlich&einstellbar |
Elektronenkanone | Schottky-Feldemissionskanone |
Kathodenstrahler | Wolfram-Einkristall |
Euzentrischer Autotisch mit fünf Achsen | X: 0~150mm |
Y: 0~150mm | |
Z: 0~60mm | |
R: 360° | |
T:-5°~75° | |
Max. Probe | 320 mm |
L*B*H | 342 mm * 324 mm * 320 mm (Innenkammergröße) |