Turbo-Molekularpumpe, FF-63/80E mit integriertem Antriebsmodul, Wasser-/Luftkühlung, Fettschmierung
| Flansch（In） | ISO-K/CF63 | max. Vorvakuumdruck | N2：1500 |
| Flansch（Out KF | DN16 | Gas im gesamten （sccm） | N2：35 |
| Pumpgeschwindigkeit (L/s） | N2：63-80 | Er：30 | |
| Er：55 | H2：19 | ||
| H2：34 | Ar：38 | ||
| Ar：65 | Drehzahl （ U/min） | 72000 | |
| Kompressionsrate | N2：109 | Vorlaufzeit（min） | ≤2 |
| Er：105 | Kühlart,Standard | Water oder Air | |
| H2：104 | Kühlwasserverbrauch （ L/min） | 1 | |
| Ar：109 | Kühlwassertemperatur（℃） | ≤25 | |
| Enddruck（Pa) | CF：5×10-6 | Stromanschluss: Spannung （V AC） | DC24/AC220 |
| IST IN ORDNUNG：3×10-5 | Max.Leistungsaufnahme （W) | 90 | |
| max. Kontinuierlicher Vorvakuumdruck (Pa) | 500 | Controller-Modell | TCP-100 |
Instrumental:
Die von KYKY für die Instrumentenindustrie entwickelten Molekularpumpen der Serie für Instrumente sind kompakte Hochleistungstypen. Es kann die anspruchsvollen Anforderungen im Instrumentenbereich perfekt erfüllen; Aufgrund der höheren Rotationsgeschwindigkeit und der optimaleren Extraktionsstruktur ist es mit mehreren Vorpumpen kompatibel und hat eine stärkere Pumpfähigkeit für kleinmolekulare Gase.
Vorteile:
1. Kompakter Aufbau zur Systemintegration
2. Moduldesign für mehr Auswahl
3. Höhere Vordrucktoleranz
4. Beliebige Einbaulage
5. Einstellbare Drehgeschwindigkeit
Anwendungen:
Molekularpumpen der Serie für Instrumente sind eine geeignete Wahl für Hochvakuumerzeugungsgeräte in den Bereichen Massenspektrometrie, Oberflächenanalyse und anderen wissenschaftlichen Forschungen.